VHP技术起源于1980年代末，美国Sterilse公司发现气态过氧化氢仅需较低浓度即可达到高效灭菌。其灭菌原理基于氧化还原反应：过氧化氢分解产生活性羟基，破坏细胞膜、脂类、蛋白质和DNA，对细菌、孢子、真菌、霉菌和病毒均广谱有效。技术特点包括低温工艺（4-80°C）、无残留、无有毒副产品、材料兼容性好，以及易于验证。

与甲醛和二氧化氯对比，VHP优势明显：甲醛作用慢、有结晶残留、难验证且剧毒；二氧化氯毒性强、材料相容性差。VHP灭菌周期通常包括除湿、调整、消毒和通风阶段，时间约2小时，可通过参数如时间、湿度、气体浓度和温度优化。验证过程采用生物指示剂（如嗜热脂肪芽孢杆菌），确保可复制性。

实际应用中，VHP技术已扩展至ICOS湿热灭菌柜等设备，通过简单调整（如增加进气口和程序控制）即可适配。OSHA安全规范要求工作浓度低于1 ppm，但VHP的扩散性弱，泄露风险低，手持传感器即可监控。企业可通过定制化方案，实现短停机、高效益的灭菌。